飞纳桌面扫描电镜在结构上展现了一系列特别之处,这些特点使其成为现代科研和工业领域中不可少的工具。其设计理念在于将高性能的电子显微镜技术浓缩成更小巧、便携的形式,同时保留了传统扫描电镜的核心功能和高分辨率成像能力。
飞纳桌面扫描电镜的结构特点:
-电子枪:电子枪是电子光学系统的核心部分,它使用钨单晶作为发射源,通过第一阳极和第二阳极加速电子,而钨阴极则保持负电位,确保电子束的稳定发射。
-磁透镜:磁透镜用于将电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束,以便准确轰击样品表面。
-扫描线圈:扫描线圈负责控制电子束在样品表面的扫描路径,实现栅网式扫描,从而获得样品的高分辨率图像。
-光阑:光阑用于调节电子束的大小,确保只有所需尺寸的电子束通过,以优化成像效果。
-样品室:样品室是放置样品的空间,设计上允许方便地更换样品,同时保持高真空环境。
-探测器:探测器接收从样品表面反射回来的电子束信号,这些信号包含了样品表面形貌的信息。
-数据处理:接收到的信号经过转换和放大后输入到显像管,形成用户可见的图像。
-显示系统:显示系统负责将处理后的信号转换为直观的图像,供用户观察和分析。
-机械泵:机械泵用于初步抽取样品室内的空气,达到低真空状态。
-分子泵:分子泵进一步降低样品室内的压力,以达到高真空环境,这对于电子束的稳定性和样品保护至关重要。
-离子泵:离子泵用于维持高真空状态,确保电子束在传输过程中的能量损失小。
-稳压稳流:电源系统提供稳定的电压和电流,保证电子枪和其他组件的正常工作。
-安全保护电路:电源系统中还包含安全保护电路,以防止设备过载或短路等意外情况的发生。
-温度控制:冷却循环水系统用于维持设备在适宜的工作温度,防止过热导致设备损坏或影响实验结果。
-数据存储:图像记录系统负责将观察到的图像数据进行存储,便于后续的分析和研究。
-样品制备:对于导电材料,可以直接放入样品室进行分析;而对于导电性差或绝缘的样品,则需要喷镀导电层以提高成像质量。