半导体电子显微镜观测材料、矿物、生物样品、器件透射电子显微象及电子衍射图,对样品微观组织、结构、缺陷等定性、定量分析。 可对样品在加热、拉伸、电子辐照等条件下微观组织的变化过程进行动态观测。与普通电子显微镜相比较,它可以进行微观过程的动态实验观察、辐照效应研究、厚试样和粗大析出物的观察分析以及半导体微器件结构研究。
半导体电子显微镜快速切换物镜,提高检查速度电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。