台式扫描电子显微镜使用发生汇聚的电子束，轰击样品，发生各种信号，例如二次电子，背散射电子，吸收电子，X射线等。不同的信号携带有不同的衬度。常见的衬度有形貌衬度和成分衬度。还有一种在晶体资料中常见的衬度就是电子通道衬度，即ECC（Electron Channeling Contrast）衬度。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷。

 

　　台式扫描电子显微镜使用中关于晶体的资料，二次电子和背散射电子的产额与初始电子束与晶面的相对取向有关。晶体取向的不同会造成初始电子被试样原子散射的机率发生差异，从而影响二次电子和背散射电子的产额。两种不同取向晶粒，关于A晶粒，电子进入该晶粒时，与原子核发生磕碰的几率减小，大概率会直接通过往样品更深处运动，磕碰减小，往样品外散射的信号就会减小，图画中体现的衬度就会低，比较暗；相反，关于B晶粒，取向发生改变，电子进入该晶粒中，磕碰几率提高，发生的信号量就会增加，图画中体现的衬度就会较高，比较亮。因而，晶粒取向不同，对发生的信号量就会造成影响，通过将这些信号搜集起来进行处理就可以对不同的取向进行表征。

 

　　在了解了通道衬度是如何构成的之后，要如安在样品上观察到这种衬度呢？

 

　　首先，需求是晶体资料，外表具有良好的晶体结构，因而，关于样品制备的要求相关于常规扫描样品要愈加严格。台式扫描电子显微镜需求对样品进行抛光处理，取得平坦的外表。一起在机械抛光完成之后外表仍然存在应力层，为了去掉应力层，可以选用振荡抛光，硅胶抛光，电解抛光，或许氩离子抛光，关于部分资料，也可以直接用相应的腐蚀液稍微腐蚀一下，也能很好的去除应力层。每种制样办法都有各自的优缺点，振荡抛光和选用硅胶抛光的办法，制备的外表很平坦，可是往往需求较长的时刻才干很好的去除应力层；电解抛光需求样品导电，抛光参数（包含抛光的时刻电压电流，电解液的挑选等）需求摸索，抛光的样品也不适合很大，含有夹杂物或许多相的资料也不适合用电解抛光；氩离子抛光主要有两种，一种是平面抛光，一种是截面抛光，平面抛光可以在样品外表接近中心的方位进行，可是往往会带来非常显着的外表浮凸，引入形貌衬度，截面抛光虽然可以取得非常平坦的面，可是只能在边缘处进行，区域比较小。因而，依据样品挑选适宜的制样办法，终究取得一个平坦的无应力层的外表。