高分辨率台式扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器，当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，停止运动，并被样品吸收。
扫描电镜视频放大器放大的二次电子信号是一个交流信号，用这个交流信号调制显像管栅极电，其结果在显像管荧光屏上呈现的是一幅亮暗程度不同的，并反映样品表面起伏程度(形貌)的二次电子像。
扫描方式分点扫描、线扫描、面扫描和Y调制扫描。扫描电镜图像的放大倍率是通过改变电子束偏转角度来调节的，放大倍数等于CRT面积与电子束在样品上扫描的面积之比，减小样品上扫描的面积，就可增加放大倍率，电子束在样品上扫描的面积，由扫描线圈产生的激励磁场控制，可以连续调节，所以扫描电镜的放大倍率是可以连续调节的。
为保证高分辨率台式扫描电镜电子光学系统的正常工作，扫描电镜采用一个机械泵和一个油扩散泵，真空系统的工作自动进行并有保护电路。若达不到高真空，高压指示灯将不亮，高压加不上，扩散泵冷却水断路或水压不足，全机电源自动切断，扩散泵温度过高也自动断电。电子枪灯丝更换有单独的电子枪室与主机镜筒隔离，更换灯丝后几分钟内电子枪即可达到高真空。
