扫描电镜适用于对低频振动较为灵敏的仪器，例如建筑物和楼层振动、光学平台晃动带来的低频振动，使用隔震平台，可使其降至传统隔离设备如气垫隔振所未能 达到的水平，从而使得对这些振动较为敏感的仪器或设备以稳定的状态运行。

   扫描电镜优异的隔振效果使其应用范围广泛，适用于所有需要进行隔振的实验平台，目前为止，已应广泛用在包括纳米技术、生物科学、半导体、材料研究、航天器零重力模拟以及音频等领域。扫描电镜在高真空的镜筒中，由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息( 二次电子 、背反射电子、透射电子、吸收电子等)，由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器 放大后输入由显像管栅极控制的显像管。

   扫描电镜对样品表面扫描时，由于样品不同部位表面的物理、化学性质、表面电位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使电子束激发出的电子信息各不相同，导致显像管的电子束强度也随着不断变化，在显像管荧光屏上可以获得一幅与样品表面结构相对应的图像。扫描电镜根据探测器接收的电子信号的不同，可分别获得样品的背散射电子图像、二次电子图像、吸收电子图像等。

   扫描电镜分辨率可达50~100，电子放大倍数可由十几倍连续变化到几十万倍，因此可以对样品的整个表面进行比较仔细的观察。扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表 面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。