扫描电子显微镜是用极细的电子束在样品表面扫描，将产生的二次电子用特制的探测器收集，形成电信号运送到显像管，在荧光屏上显示物体。（细胞、组织）表面的立体构像，可摄制成照片。

   扫描电子显微镜样品用戊二醛和饿酸等固定，经脱水和临界点干燥后，再於样品表面喷镀薄层金膜，以增加二波电子数，扫描电镜样品用戊二醛和饿酸等固定，经脱水和临界点干燥后，再于样品表面喷镀薄层金膜，以增加二波电子数。扫描电子显微镜能观察较大的组织表面结构，由於它的景深长，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放样品图像富有立体感。扫描电镜能观察较大的组织表面结构，由于它的景深长，1mm左右的凹凸不平面能清所成像，故放样品图像富有立体感。

   扫描电子显微镜自动定性分析是根据能量位置来确定峰位，直接单击"操作/定性分析"按钮，即可实现自动定性分析，在谱的每个峰的位置显示出相应的元素符号。

   扫描电子显微镜优点是识别速度快，但由于能谱谱峰重叠干扰严重，自动识别极易出错，比如把某元素的L系误识别为另一元素的K系，这是它的缺点。为此分析者在仪器自动定性分析过程结束后，还必须对识别错了的元素用手动定性分析进行修正。所以虽然有自动定性分析程序，但对分析者来说，具有一定的定性分析技术实在是*的。

   扫描电子显微镜是通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度，根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算呈浓度比。扫描电子显微镜两种定量分析方法：无标样定量分析法和有标样定量分析析法。

   电子束只打到试样上一点，得到这一点的X射线谱的分析方法是点分析方法。与此不同的是，用扫描像观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量特征X射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管上显示出来，就得到特征X射线强度的二维分布的像。这种观察方法称为元素的面分布分析方法，它是一种测量元素二维分布的非常方便的方法。