扫描电子显微镜原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。
扫描电子显微镜具有由三极电子枪发出的电子束经栅极静电聚焦后成为直径为50mm的电光源。在2-30KV的加速电压下，经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成孔径角较小，束斑为5-10mm的电子束，并在试样表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下，电子束在试样表面扫描。
飞纳高分辨率专业版PhenomPro可选配丰富的拓展功能选件，如3D粗糙度重建（3DRoughnessReconstruction）、纤维统计分析测量系统（FiberMetric）、孔径统计分析测量系统（PoreMetric）、颗粒统计分析测量系统（ParticleMetric）、超大视野拼图（AutoImageMapping）、远程操作等。软件可以自动采集数据、处理图片。比如，纤维统计测量系统可以自动识别、测量纤维样品，而大视野拼图则自动采集生成高分辨、大视野的样品全景照片，等等。
扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的，由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样，利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。
